無塵潔凈室(CleanRoom)，亦稱為無塵室，潔凈室或無塵車間。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
基本常識(shí)
一、無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)建成的無塵潔凈房間。
二、無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
三、無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的最好凈化設(shè)備之一，它可以最大限度地減少員工進(jìn)出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入無塵潔凈區(qū)域，達(dá)到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。
四，無塵潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國(guó)際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
伍.每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
管理制度規(guī)范
一、目的：在生產(chǎn)過程中做好衛(wèi)生監(jiān)測(cè)與管理，防止交叉污染，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量起到重要的作用，因此特質(zhì)定無塵潔凈室潔凈區(qū)工藝衛(wèi)生管理制度。
二、范圍：適用于潔凈車間的人流，物流及車間的環(huán)境，設(shè)施潔凈有關(guān)的其它元素的管理
三、工作程序：
1、進(jìn)入潔凈區(qū)工作的人員須經(jīng)過體檢，取得健康證后才能上崗，每年復(fù)查一次，如果不合格者，必須調(diào)出，患有感冒的工作人員不得進(jìn)入潔凈區(qū)工作。
2、潔凈區(qū)每個(gè)人所占面積不得少于4平方米
3、潔凈區(qū)內(nèi)工作服管理見《潔凈區(qū)工作服管理制度》
4、每天下班后潔凈車間要用紫外燈消毒60分鐘，并填好“紫外燈消毒記錄”每月用甲醛熏蒸一次，時(shí)間半個(gè)小時(shí)，并填寫“熏蒸消毒記錄”
5、人流出入潔凈區(qū)必須按以下程序和要求進(jìn)行。
人進(jìn)-------換鞋-----脫外衣------洗手------穿潔凈服-------手消毒-------風(fēng)林
潔凈區(qū)------出門口------脫潔凈服-------穿外衣-----換鞋-------人出
6、消毒液的配制由專人負(fù)責(zé)，采用0.3?消毒液進(jìn)行消毒
7、物流進(jìn)入潔凈區(qū)必須按以下程序和要求進(jìn)行：
物品-----脫外包裝室-----雙層傳遞窗------潔凈區(qū)-------雙層傳遞窗------包裝室
8、進(jìn)入潔凈區(qū)的零件及原輔材料，必須脫外包裝經(jīng)雙層傳遞窗，生產(chǎn)出來的產(chǎn)品需經(jīng)包裝封口后從傳遞窗流出
9、每天下班后，操作工做好工作臺(tái)面，地面，凳子的清潔工作，每周墻壁頂棚清潔一次，并填寫“潔凈車間衛(wèi)生記錄”
10、凡進(jìn)潔凈區(qū)都不得留長(zhǎng)指甲，不得涂指甲油，不得戴戒指，手鐲，手表，項(xiàng)鏈，不準(zhǔn)吃東西，不得大聲喧嘩，不得穿工作服離開潔凈區(qū)或未穿工作服進(jìn)入潔凈區(qū)，口罩配戴必須規(guī)范
11、潔凈區(qū)的周轉(zhuǎn)箱應(yīng)用無孔帶蓋周轉(zhuǎn)箱，不得與非潔凈區(qū)內(nèi)的周轉(zhuǎn)箱交叉使用。
12、周轉(zhuǎn)箱在保證其潔凈度的前提下，每周清洗不少于1次，保證其潔凈度，并填寫“工作器具清洗消毒記錄”
13、潔凈區(qū)的工裝每天下班后操作工要做維護(hù)保養(yǎng)，保持工裝潔凈
14、凡進(jìn)入潔凈區(qū)檢測(cè)和生產(chǎn)用的壓縮空氣都需經(jīng)過凈化處理
15、潔凈車間在生產(chǎn)過程中，零配件掉在地上必須清洗后方可復(fù)用，裝配時(shí)產(chǎn)品不得與拖地
16、潔凈區(qū)操作工每隔2個(gè)小時(shí)，須用酒精擦拭手消毒一次，以防止人手汗或表皮脫落對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響
17、每天下班時(shí)，必須將制品放在周轉(zhuǎn)箱內(nèi)，并加蓋，防止污染
18、凈化車間內(nèi)的照明裝置每二個(gè)月檢查保養(yǎng)一次，以保證使用的完全，潔凈和照明度
19、紫外燈應(yīng)每個(gè)編號(hào)，具體記錄其開始使用時(shí)間，累計(jì)使用時(shí)間，使用超過800小時(shí)應(yīng)更換，也可以每年檢測(cè)一次紫外線強(qiáng)度，強(qiáng)度不到的應(yīng)更換，燈具每周用酒精擦拭一次，并做好記錄
管理規(guī)范：
1、進(jìn)入潔凈室的管理，包括對(duì)潔凈室工作人員進(jìn)入，物料進(jìn)入，各類設(shè)備的搬
入以及相關(guān)的設(shè)備，管線的維護(hù)管理，應(yīng)做到不得將微粒，微生物帶人潔凈室
2、操作管理技術(shù)，對(duì)潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動(dòng)和動(dòng)作，室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，盡可能減少，防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒，微生物的產(chǎn)生，滯留，繁殖等
3、嚴(yán)格各類設(shè)備，設(shè)施的維護(hù)管理，制定相應(yīng)的操作規(guī)程，保證各類設(shè)備，設(shè)施按要求正常運(yùn)轉(zhuǎn)，包括凈化系統(tǒng)，各類水，氣，電系統(tǒng)，生產(chǎn)工藝設(shè)備和工具（工具夾）等，以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級(jí)別
4、清掃，滅菌管理，對(duì)潔凈室內(nèi)的各類設(shè)備，設(shè)施的清掃，滅菌以及方法，周期和檢查明確的規(guī)定，防止，梢除潔凈室內(nèi)塵粒，微生物的生產(chǎn)，滯留，繁殖
5、潔凈室環(huán)境控制的內(nèi)容包括：空氣凈化，潔凈建筑，與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備，工具等的污染物控制以及微粒振動(dòng)，噪音，靜電的控制，防止等。
凈化原理編輯
氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→高效送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃（細(xì)菌）→回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。
重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。
技術(shù)參數(shù)
換氣次數(shù)：十萬級(jí)10－15次/小時(shí)；
萬級(jí)15－25次/小時(shí)；
千級(jí)50－52次/小時(shí);
百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s；
壓差：主車間對(duì)相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對(duì)非潔凈區(qū)≥10Pa；
溫度:冬季>16℃±2℃；夏季<26℃±2℃；
新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20%－30%；
結(jié)構(gòu)材料
1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2.地面采用環(huán)氧自流平或高級(jí)耐磨塑料潔凈地板。
3.凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。
組成系統(tǒng)作用
過濾器的基本知識(shí)
過濾器是潔凈室的主要凈化設(shè)備，是空氣凈化的主要手段。因此，對(duì)于從事潔凈室設(shè)計(jì)、建造和維護(hù)管理人員了解和掌握過濾器的基本知識(shí)是十分重要的。
1.過濾器的分類
按過濾器的性能（效率、阻力、容塵量）來劃分，通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六類過濾器。
我國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《空氣過濾器》GB/T14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規(guī)定如下：
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《高效空氣過濾器》GB13554-92中規(guī)定將高效過濾器按性能劃分為A、B、C、D四類。D類又通稱為超高效過濾器（或稱為0.1μm高效過濾器或超低透過率過濾器）。
傳遞窗
1目的：不耐高溫、高壓滅菌方法滅菌的物品傳人屏障系統(tǒng)的滅菌方法。
2依據(jù)：《實(shí)驗(yàn)動(dòng)物管理?xiàng)l例》(中華人民共和國(guó)國(guó)家科學(xué)技術(shù)委員會(huì)令第2號(hào)，1988)，《動(dòng)物飼養(yǎng)設(shè)施條件要求》(中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，2001)。
3操作規(guī)程：
1、用0.5%過氧乙酸或5%碘伏液擦拭待傳遞的物品。
2、打開傳遞窗外側(cè)門，迅速放置待傳遞物品，用0.5%過氧乙酸噴霧消毒傳遞窗，關(guān)閉傳遞窗外側(cè)門。
3、開啟傳遞窗內(nèi)的紫外燈，紫外照射待傳遞物品不少于15分鐘。
4、通知屏障系統(tǒng)內(nèi)的實(shí)驗(yàn)人員或工作人員，打開傳遞窗內(nèi)側(cè)門，取出物品
風(fēng)淋室
1、概述：風(fēng)淋室是潔凈廠房和裝配式潔凈室的設(shè)備，用于吹除進(jìn)入凈化廠房的人體和攜帶物品表面附著的塵埃，同時(shí)風(fēng)淋室也起到氣閘的作用，防止未經(jīng)凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域，是進(jìn)行人體凈化和防止外空氣污染潔凈區(qū)的有效設(shè)備。
結(jié)構(gòu)：系列風(fēng)淋室均采用發(fā)泡隔熱彩色壁板及鋁合金構(gòu)件裝備而成，配置離心機(jī)風(fēng)機(jī)及初效和高效空氣過濾器，具有外型美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、檢修方便、操作簡(jiǎn)單等特點(diǎn)。
2、原理：風(fēng)淋室內(nèi)的空氣由風(fēng)機(jī)的作用經(jīng)初效過濾器進(jìn)入靜壓箱，經(jīng)高效空氣過濾器過濾后，潔凈空氣從風(fēng)淋室的噴嘴高速噴出，噴嘴角度可調(diào)節(jié)，可有效地吹除人特或攜帶物品表面附著的塵埃，吹下的塵埃再回收進(jìn)入初效空氣過濾器，如此循環(huán)可以達(dá)到風(fēng)淋的目的。
3、用途及特點(diǎn):風(fēng)淋室是操作人員進(jìn)入潔凈室時(shí)使用的人身凈化裝置，它利用高速潔凈氣流吹淋除掉進(jìn)入室內(nèi)人員身上的污物，其噴嘴可調(diào)節(jié)，以便有效除去人身上的灰塵，并阻止外界污染進(jìn)入潔凈區(qū)域。它也可應(yīng)用于大件貨物的吹淋。
4、設(shè)備組成：主要由室體、照明、過濾系統(tǒng)、風(fēng)機(jī)組、吹嘴、電控等部分組成。
(1)、室體：壁板采用彩鋼保溫板，其內(nèi)外板均為彩鋼板，中間填充60mm厚聚苯乙烯材料，PU發(fā)泡連續(xù)成型；內(nèi)外板與保溫材料整體壓制而成一體。人員進(jìn)出大門尺寸為（寬×高）mm：700×1800。
(2)、室內(nèi)照明：在室體的頂部安裝照明燈，燈管采用飛利浦高效光源，既安全又節(jié)能且維護(hù)方便，鎮(zhèn)流器采用噴房專用鎮(zhèn)流器，保證光強(qiáng)≥500Lx。
(3)、送排風(fēng)系統(tǒng)：
a、送排風(fēng)的配置方案采用1套送風(fēng)機(jī)組，配置一臺(tái)送風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)采用離心風(fēng)機(jī)。采用1套排風(fēng)機(jī)組為室體排風(fēng)，
b、萬向吹嘴：室內(nèi)空氣采用設(shè)置在室體頂部和側(cè)面的萬向吹嘴吹向操作人員的不同角落，確保潔凈質(zhì)量。
c、控制系統(tǒng)：采用進(jìn)口或合資元器件使整個(gè)控制系統(tǒng)具有較高的可靠性。
一.風(fēng)淋室的操作規(guī)程：
二、目的：保持風(fēng)淋的安全使用，維持潔凈室環(huán)境的潔凈度。
三、風(fēng)淋室的使用：
1、進(jìn)入潔凈無塵室的人員應(yīng)在外更衣室脫去外衣，除下手表、手機(jī)、飾品等物品。
2、進(jìn)入內(nèi)更衣室，穿戴凈化無塵衣、帽、口罩、手套。
3、拉開不銹鋼風(fēng)淋門人員進(jìn)入風(fēng)淋室后，風(fēng)淋門立即自動(dòng)關(guān)閉外門，紅外線(聲控/人體熱能)感應(yīng)，風(fēng)淋自動(dòng)啟動(dòng)，吹淋15秒(出廠已設(shè)置)。注意：風(fēng)淋室在吹淋時(shí)兩個(gè)不銹鋼門不能同時(shí)打開，如強(qiáng)行打開將損壞電子鎖，風(fēng)淋室兩門是電子互鎖控制。
4、風(fēng)淋室吹淋結(jié)束后，推開出門進(jìn)入潔凈無塵室。
四、風(fēng)淋室的管理：
1、風(fēng)淋室由責(zé)任人管理，每季度定期更換初效濾材。
2、每2年更換風(fēng)淋室的高效過濾器(有隔板)。
3、應(yīng)輕開輕關(guān)風(fēng)淋室內(nèi)、外門。
4、在使用過程中人員請(qǐng)不要隨意觸摸開關(guān)，和調(diào)節(jié)智能語音提示系統(tǒng)。
5、遇風(fēng)淋室發(fā)生故障時(shí)，應(yīng)及時(shí)關(guān)掉急停開關(guān)，報(bào)專業(yè)維修人員修理。一般情況下不準(zhǔn)啟動(dòng)手動(dòng)按鈕。
FFU層流罩
FFU在使用壽命及維護(hù)上已經(jīng)實(shí)踐證明無可擔(dān)心。當(dāng)前其改進(jìn)主要是：
(1)采取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db以內(nèi);
(2)電動(dòng)機(jī)采用DC/EC(電子整流電機(jī))，以耗較原交流電機(jī)節(jié)約近50%，因?yàn)樾★L(fēng)機(jī)所用小容量(功率<1/2HP)的交流電機(jī)，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機(jī)的效率可達(dá)75～80%;在調(diào)速控制上可每臺(tái)單獨(dú)的以過濾器降壓進(jìn)行控制以節(jié)約能耗，但目前投資回收期尚長(zhǎng)而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控。
(3)但FF瓣出口靜壓不能過大，一般采用出口風(fēng)速成0.38m/s，此時(shí)其靜壓一般在250Pa以內(nèi)。
一.FFU回風(fēng)系統(tǒng)與其他方式相比的優(yōu)點(diǎn)
一般評(píng)價(jià)
優(yōu)點(diǎn)：
(1)靈活性大，便于改造;
(2)占用建筑物空間較少;
(3)潔凈室內(nèi)空氣壓力大于回風(fēng)靜壓室，排除靜壓室對(duì)潔凈室污染的可能性。
缺點(diǎn)：
(1)要求回風(fēng)道全部阻力(包括多孔地板、格柵及風(fēng)道)、干表冷器阻力及末級(jí)過濾器的阻力(在初阻力時(shí))，總共應(yīng)控制在165Pa左右，以滿足運(yùn)行時(shí)最大阻力在250Pa以內(nèi)。因此干表冷器的傳熱面積要較大，回風(fēng)道尺寸亦要較大，多孔地板及格柵等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回風(fēng)道阻力在15Pa以內(nèi)，否則就需要再增設(shè)加壓風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，這就是降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點(diǎn)。
(2)采用DC/EC電機(jī)后，單位風(fēng)量的能耗可能比當(dāng)前一般大型離心風(fēng)機(jī)的集中系統(tǒng)為低，但已有研究指出，比采用改進(jìn)后的大型軸流風(fēng)機(jī)的回風(fēng)系統(tǒng)的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風(fēng)機(jī)的效率提高及其系統(tǒng)的阻力降低的因素。
(3)一般FFU系統(tǒng)由于單位風(fēng)量的能耗較大，因此潔凈室的冷負(fù)荷亦相應(yīng)增加。
具體情況下的評(píng)價(jià)：
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時(shí)，其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室，末級(jí)過濾器滿布率100%時(shí)，對(duì)大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對(duì)小系統(tǒng)有意義作具體比較。
(3)對(duì)潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室，末級(jí)過濾器滿布率≤40%時(shí)對(duì)大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多，但對(duì)IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC工廠對(duì)過濾器滿布率≤40%時(shí)，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。
原材料和設(shè)備
除了人員進(jìn)出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設(shè)備進(jìn)出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。
其進(jìn)潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行，但不須經(jīng)洗滌程序。
原材料及設(shè)備進(jìn)出用潔凈室為潔凈室等級(jí)1000或10,000級(jí)房間，工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或原材料時(shí)必須穿著清潔衣服，所使用擦拭紙為無塵紙或不會(huì)脫落纖毛無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3～5%濃度的IPA或丙酮化學(xué)品，以增強(qiáng)去污能力，由于IPA及丙酮具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設(shè)備時(shí)為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。
無塵潔凈室用品
清潔室內(nèi)用品除了進(jìn)出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。
潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會(huì)變質(zhì)或發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質(zhì)，另外經(jīng)過摩擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙（或無纖紙）制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣同，二者在穿戴使用時(shí)，除了只露出眼睛或臉表面部分外，其他部分均須包覆，在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。
潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑膠底，布質(zhì)部分則采用與潔凈衣相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Vinyl），在使用過程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用，原則上以使用無粉之Vinyl手套為佳。（清潔急救網(wǎng)合作工廠伙伴為清潔同行提供無塵車間實(shí)地演示）無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在潔凈室內(nèi)進(jìn)行，并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級(jí)而定，在高潔凈區(qū)為2～3天，其他區(qū)域則為5天～1星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。洗滌衣置放場(chǎng)所須為潔凈室，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以為方便取用
在潔凈室中，人是決定微粒污染物產(chǎn)生的重要因素。潔凈室內(nèi)工作的人員都應(yīng)當(dāng)充分了解個(gè)人衛(wèi)生習(xí)慣對(duì)潔凈室潔凈程度的影響有多大，這才是最重要的。上海凈化工程為您介紹潔凈室工作人員應(yīng)遵循的規(guī)程，有關(guān)服裝和個(gè)人用品方面的要求，供讀者參考。
至于珠寶首飾，工作人員可以戴結(jié)婚和訂婚戒指，但最好不要戴有尖角或者邊沿鋒利的戒指，因?yàn)樗鼈兛赡軙?huì)刺穿手套或者衣服。如果一定要戴這種戒指，就需要在戴手套和穿潔凈服之前用帶子把它們纏起來。建議不要佩戴懸垂式耳環(huán)、項(xiàng)鏈、胸針和其他凸出來的或者懸掛的飾品，即便它們一般都是藏在衣服里面，也最好不要佩戴這些飾物。因?yàn)檫@些東西可能會(huì)干擾潔凈室或者實(shí)驗(yàn)室的正常活動(dòng)。
個(gè)人物品，例如香煙、錢包、紙巾和紙制品，都要存放在辦公桌或者儲(chǔ)物柜里，不能把它們帶進(jìn)潔凈室。除非得到管理人員的特別許可，否則，在潔凈室里，衣服口袋只能是空的。在進(jìn)入潔凈室之前，首先要把眼鏡和護(hù)目鏡上所有看得見的微粒污染物擦掉。
干燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會(huì)污染產(chǎn)品。一次性鞋套最好每天更換一到兩次。大多數(shù)更衣室都有干凈的一邊和污染的一邊，潔凈室人員應(yīng)該始終按規(guī)定執(zhí)行。不能穿著鞋套走出更衣室，又穿著同一雙鞋套走進(jìn)來。
最好戴蓬松的圓帽。正如前面所說的，頭發(fā)，包括劉海，必須完全藏在帽子里，不能露出來。只能在潔凈室或者更衣室外面把帽子摘掉，也不能在潔凈室里脫帽子。在潔凈室或者更衣室外面戴過的帽子也不能再次使用了。
對(duì)于穿著的潔凈服，建議每周更換一到兩次，或者只要衣服一臟就立即更換。各家公司在這個(gè)程序上的規(guī)定也不一樣。必須時(shí)刻遵守著裝程序。衣服不得與地板接觸。與地板接觸會(huì)污染衣服。
如果需要戴手套，必須使用潔凈室專用的無粉乳膠手套或者丁腈膠手套。因?yàn)橛械娜藢?duì)乳膠中的蛋白質(zhì)過敏，如果因使用了無粉乳膠手套而造成手部出現(xiàn)紅點(diǎn)，建議改用丁腈膠手套。一旦手套褪色或者有破洞必須馬上更換，但不能在潔凈室里更換，只能在更衣室里更換手套。不要隨便拉拽手套和猛地脫下手套，應(yīng)該慢慢地把手套從手上退下來。
吸塵器系統(tǒng)
潔凈室吸塵器是無塵廠房、車間專用的強(qiáng)力真空專用吸塵器，可迅速、便捷、高效地完成清潔工作。
特點(diǎn)：超高過濾效果，可有效的除去對(duì)呼吸氣管造成過敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發(fā)生。
當(dāng)你使用專用吸塵器時(shí)，可以減少您清潔廠房的次數(shù)，因?yàn)樗粫?huì)二次擴(kuò)散灰塵，并可凈化室內(nèi)空氣。
有完備的各類吸嘴，任何角落皆可輕松清潔干凈。
超強(qiáng)的吸力可吸除更深層的粉塵。
設(shè)計(jì)新穎輕巧，符合人體工學(xué)，操作時(shí)不會(huì)腰酸背痛,減少人體不適。
專用吸塵器可專門針對(duì)防塵爆及有毒粉塵，如石棉，鉛等物質(zhì)，美國(guó)太空總署特別指定使用專用專用吸塵器清除貨倉(cāng)內(nèi)的微細(xì)粉塵。
潔凈室吸塵器的主要組成：
大扒頭：當(dāng)清掃地面面積較大時(shí)，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。
小扒頭：清掃面積相對(duì)較小時(shí)，小扒頭可方便快捷的掃除工作臺(tái)底部的灰塵和顆粒。
圓毛刷：工作范圍主要集中在工作臺(tái)臺(tái)面，清楚工作臺(tái)面細(xì)微的小顆粒
伸縮桿：增大清掃范圍領(lǐng)域。
軟管：機(jī)器正常工作時(shí)，吸收的小顆粒，灰塵，雜物，經(jīng)過吸口有軟管傳遞到第一過濾系統(tǒng)。
集塵袋：潔凈室吸塵器的第一過濾系統(tǒng)，也是為最重要的環(huán)節(jié)，收集人眼能分辨的小顆粒，對(duì)保護(hù)馬達(dá)和高效過濾器有重要作用。
電源開關(guān)：
控制吸塵器的啟動(dòng)和關(guān)閉。
高效過濾器：高效過濾器是吸塵器的第四大過濾系統(tǒng)，也是最后一個(gè)環(huán)節(jié)，高效過濾器能過濾0.012um的小顆粒，過濾之后的空氣達(dá)到100級(jí)以上。
工作原理：吸塵原理。吸塵器的風(fēng)機(jī)葉輪在電動(dòng)機(jī)高速驅(qū)動(dòng)下，將葉輪中的空氣高速排出風(fēng)機(jī)，同時(shí)使吸塵部分內(nèi)空氣不斷地補(bǔ)充進(jìn)風(fēng)機(jī)。這樣內(nèi)部與外界形成較高的壓差。吸嘴的塵埃、臟物隨空氣被吸入吸塵部分，并經(jīng)過漏器過漏，將塵埃、臟物及顆粒吸入沉桶內(nèi).
潔凈室吸塵器的技術(shù)參數(shù)
電壓
220-240
吸塵軟管
2.5m
功率
1200w
伸縮桿長(zhǎng)度
1005mm
氣流
96CFM
容量
15L
吸氣量
3200mmH20
整機(jī)重量
10kg
真空吸力
22kpa
外形尺寸
403*403*736
噪音標(biāo)準(zhǔn)
62db
電源線長(zhǎng)
10m
以上基本參數(shù)為樣本形式，供讀者參考與了解！
潔凈室吸塵器的使用與維護(hù)
使用吸塵器前，請(qǐng)先確保室內(nèi)電壓是否與本機(jī)額定電壓相符，本吸塵器已配置集塵袋，集塵袋為正確安裝前，請(qǐng)勿使用吸塵器
啟動(dòng)與停止將電源線之電源插頭插到電源插座上，打開吸塵器電源開關(guān)，接通吸塵器馬達(dá)電源，吸塵完畢后，應(yīng)先關(guān)閉吸塵器電源開關(guān)，再拔掉電源線插頭
集塵袋更換如集塵袋已滿，請(qǐng)先確保已關(guān)閉吸塵器電源或已將電源插頭從電源插座中拔除，把已滿的集塵袋取出，把新集塵袋口部裝入吸嘴卡中，再把新集塵袋拉好
袋式中效過濾器及馬達(dá)保護(hù)罩清洗袋式中校過濾器及馬達(dá)保護(hù)罩屬于可洗型，如袋式中效過濾器和馬達(dá)保護(hù)罩已贓物，請(qǐng)把他們?nèi)∠拢磧袅栏珊蟀床鹦恫矿E裝上即可，如有破損請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系代理商或經(jīng)銷商更換。
使用完畢后請(qǐng)用無塵布探試干凈，置于干燥清潔處放置，請(qǐng)勿在潮濕環(huán)境及陽光直射環(huán)境中放置，這將導(dǎo)致不可預(yù)料的危險(xiǎn)請(qǐng)不要用乙醇等有機(jī)溶劑探試機(jī)體表面機(jī)身如有贓物難以清除，用無塵布沾少許中性清潔劑探試，然后再用干布，擦干即可。吸塵器高效過濾器屬于精密器件，應(yīng)視馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)及使用環(huán)境及時(shí)更換，否則將影響馬達(dá)的使用壽命，中效式過濾器及達(dá)保護(hù)罩如有贓物應(yīng)及時(shí)清洗或更換，否則將影響過濾效果及影響吸塵器馬達(dá)使用壽命，集塵袋應(yīng)適馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)數(shù)及使用環(huán)境而適當(dāng)?shù)母鼡Q本吸塵器是干式吸塵器，請(qǐng)不要用于吸水及其他液體，亦不適用于防爆環(huán)境潔凈室吸塵器應(yīng)注意事項(xiàng)
為避免電擊及確保作業(yè)安全在使用吸塵器前，請(qǐng)先閱讀使用說明及安全注意事項(xiàng)
使用洗車器前，請(qǐng)先確保接入電源電壓和本機(jī)電壓相一致
使用吸塵器前，請(qǐng)先確保吸塵器吸入口未被堵塞
本吸塵器屬于干式吸塵器，僅限于干式吸塵器，請(qǐng)勿試圖用于吸取水及其他液體
本吸塵器非為防爆環(huán)境設(shè)計(jì)，請(qǐng)勿用于防爆環(huán)境及含有可燃?xì)怏w之場(chǎng)所
節(jié)能設(shè)計(jì)
一、低斷面風(fēng)速設(shè)計(jì)
斷面風(fēng)速就是空氣處理部件中空氣經(jīng)過過濾器或者加熱/冷卻盤管的速度。
大部分工程師根據(jù)“經(jīng)驗(yàn)”把空氣處理器設(shè)計(jì)成500英寸/分鐘。這樣的設(shè)計(jì)雖然節(jié)省時(shí)間，但是卻增加了運(yùn)作費(fèi)用。在低斷面風(fēng)速設(shè)計(jì)中，使用更大的空氣處理器和更小的風(fēng)機(jī)，從而降低空氣的流速，降低能耗和設(shè)壽命成本。
壓降決定了風(fēng)機(jī)的能量損耗。由“平方定則”可知壓降與速度下降的平方成正比。如果斷面風(fēng)速降低20%，那么壓降將下降36%；如果斷面風(fēng)速降低50%，壓降將下降四分之三。根據(jù)“立方定則”，風(fēng)機(jī)能耗的變化與流量變化的立方成正比。如果空氣流量降低50%，風(fēng)機(jī)能耗將下降88%。
因此，較大尺寸的空氣處理器、較大的過濾器和盤管面積消耗較少的風(fēng)機(jī)能量，可以使用比較小的風(fēng)機(jī)和馬達(dá)。小風(fēng)機(jī)給空氣添加的熱量比較少，降低了冷卻的難度。厚度小的盤管更容易清洗、工作效率更高，所以冷凍水的溫度可以更高。過濾器在低斷面風(fēng)速情況下，工作效果更好、壽命更長(zhǎng)。
設(shè)計(jì)減少了空氣和水的壓降，減小了冷卻盤管的帶水量。流線型設(shè)計(jì)，幾乎沒有尖角，從而使壓降減少10%到15%。
設(shè)計(jì)也可以把壓降降低四分之一。目標(biāo)是使能量損耗降低至少25%，減小變速風(fēng)機(jī)的大小。最優(yōu)的斷面風(fēng)速范圍是250-450英尺/分鐘，具體取決于使用情況和能量消耗。
二、換氣次數(shù)
無塵車間維持一定的空氣流量來保持清潔度和顆粒數(shù)。流量根據(jù)每小時(shí)的換氣次數(shù)來確定，同時(shí)這也決定了風(fēng)機(jī)尺寸、建筑構(gòu)型和能量消耗。在保持潔凈度的前提條件下，空氣流速的降低可以降低建造及能耗成本。換氣次數(shù)降低20%就可以使風(fēng)機(jī)的尺寸降低50%。空氣潔凈度比節(jié)約能耗更重要，但是最新的研究成果已經(jīng)有降低潔凈成本的記載了。
關(guān)于最佳換氣次數(shù)還沒有達(dá)成共識(shí)。許多原則都已過時(shí)，是建立在老觀念上，采用低效的空氣過濾器。調(diào)查顯示，ISO第5級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室推薦的換氣次數(shù)變化范圍是從250到700以上。
美國(guó)的一所國(guó)家實(shí)驗(yàn)室正在確定ISO第5級(jí)無塵車間的標(biāo)準(zhǔn)。研究顯示，實(shí)際換氣次數(shù)范圍是90到250――比操作規(guī)程標(biāo)準(zhǔn)低很多，而且不會(huì)影響生產(chǎn)和潔凈度。因此建議ISO第5級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)大約是200，保守的上限是300。
三、馬達(dá)效率
馬達(dá)消耗了潔凈室的大部分電能。連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的馬達(dá)每月消耗大量的電力。適當(dāng)?shù)靥岣咝?、適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)尺寸，在翻新后，經(jīng)濟(jì)效果多半是不錯(cuò)的。效率增加幾個(gè)百分點(diǎn)，利潤(rùn)就可增加。
使用優(yōu)質(zhì)高效的馬達(dá)，不一定會(huì)花費(fèi)太多。高效率意味著最小，在改變馬達(dá)的尺寸之前先盡量減小負(fù)荷。在輸出量變化時(shí)，利用變速驅(qū)動(dòng)可以提高操作效率。
四、變速驅(qū)動(dòng)的冷凍機(jī)
變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)能節(jié)省大量的能量和金錢。許多無塵車間的設(shè)計(jì)人員和操作人員認(rèn)為，沒有必要使用變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)，因?yàn)樨?fù)荷通常是恒定的，多級(jí)冷凍機(jī)機(jī)組通常控制為高負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)。但是負(fù)荷恒定的冷凍機(jī)通常工作在滿負(fù)荷以下。變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)通常工作在全負(fù)荷的90%-95%以節(jié)省能量。一臺(tái)1000噸的冷凍機(jī)穩(wěn)定工作在滿負(fù)荷的70%，如果使用了變速驅(qū)動(dòng)，每年就可節(jié)省兩萬到三萬美元。根據(jù)生產(chǎn)商的數(shù)據(jù)，電能的價(jià)格是0.05美元/千瓦時(shí)，這樣大約一年就可以回收成本。
多級(jí)冷凍機(jī)冷水式機(jī)組很少高負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)。通常情況下，現(xiàn)場(chǎng)負(fù)荷通常不是正好匹配機(jī)組的能級(jí)變化。許多操作人員運(yùn)行額外的冷凍機(jī)以求可靠，一旦某個(gè)冷凍機(jī)發(fā)生故障，其它的冷凍機(jī)可以立刻補(bǔ)充，接替其全部負(fù)荷，因此冷水式機(jī)組經(jīng)常是讓冷凍機(jī)在制冷能力的60%到80%運(yùn)轉(zhuǎn)。
在購(gòu)買新冷凍機(jī)的時(shí)候，指定購(gòu)買變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)是劃算的。用變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)可降低能耗，同時(shí)讓其他冷凍機(jī)可靠性運(yùn)行。有許多的研究和實(shí)驗(yàn)證明，變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)的效果是很好的。二十多年來，變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)制造廠商制造出更可靠性的產(chǎn)品，用在新建的和升級(jí)的潔凈工廠里面。
面臨熱點(diǎn)問題編輯
2.1有關(guān)推薦或參考值的應(yīng)用
潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：
(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大;
(2)室內(nèi)氣流流型及分布：?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆?、平等的流線，但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層;
(3)自凈時(shí)間(恢復(fù)時(shí)間)的控制要求：潔凈室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時(shí)的間歇性對(duì)流氣流或人及設(shè)備的移動(dòng)等都會(huì)造成潔凈度的惡化，恢復(fù)到原來潔凈度的自凈時(shí)間決定于氣流速度;對(duì)自凈時(shí)間的控制要求取決于此時(shí)間框架內(nèi)(惡化的潔凈度下)，對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力;
(4)末級(jí)過濾器的效率：在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下，可采用較高效率的過濾器以降低氣流速度;為節(jié)能應(yīng)考慮采用較高效率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積最小;
(5)經(jīng)濟(jì)性考慮：過大的氣流速度造成投資及運(yùn)行費(fèi)用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果;
(6)對(duì)潔凈度要求低的潔凈室，有時(shí)換氣次數(shù)決定于室內(nèi)排熱的要求。
以上因素，皆很難量化，只能分析對(duì)比并估計(jì)。因此在工程應(yīng)用中，對(duì)潔凈室的氣流速度往往參照有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等的推薦或參考值，再按具體情況估計(jì)以上各影響因素進(jìn)行綜合考慮后確定。
氣流速度用于單向流潔凈室;非單向流潔凈室宜用換氣次數(shù)，因?yàn)槠錃饬魉俣入y于測(cè)準(zhǔn);亦有用末級(jí)過濾滿布率來反映的，可用于各種氣流流型的潔凈室，一般滿布率100%相對(duì)于流速0.5m/s(100fpm)，25%相對(duì)于0.125m/s(25fpm)。當(dāng)前有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等的推薦或參考值見表1。
注：1、ISO14644-4對(duì)于氣流速度/換氣次數(shù)是明確作為參考資料的，表中所列僅適用于微電子及IC工廠;對(duì)制藥廠只列ISO5級(jí)氣流速度>0.2m/s，對(duì)ISO6～8級(jí)皆未列出參考值。
2、(M)指混合流，N指非單向流;*指對(duì)污染源已采取有效的隔離措施的潔凈區(qū)。
表1中有關(guān)氣流速度和換氣次數(shù)的推薦或參考值，應(yīng)該說是經(jīng)驗(yàn)的反映。如ISO/DIS14664-4提出的數(shù)值皆明確適用于那類潔凈室的;IEST的推薦值亦是被一些權(quán)威機(jī)構(gòu)認(rèn)為僅適用于半導(dǎo)體工廠。由于具體情況變化較大，有的經(jīng)驗(yàn)值可能已不適合當(dāng)前的室內(nèi)塵源控制措施及過濾器效率提高的情況。
2.2對(duì)有關(guān)推薦或參考值的討論
近年來不少人通過實(shí)驗(yàn)認(rèn)為這些推薦或參考值過于保守，其論點(diǎn)可歸納為：
(1)潔凈室內(nèi)氣流的橫向擴(kuò)散只在甚低的流速下才有可能，單向流在合理的氣流組織下，流速0.05～0.1m/s就足夠帶走污染物，在此流速下亞微米粒子的擴(kuò)散性能遠(yuǎn)低于對(duì)流性能;而大于0.36m/s的氣流速度反而易千百萬渦流，引起污染物的再卷入。因此，潔凈室的理想自凈時(shí)間Tr=體積/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大氣流速度，實(shí)際的Tr并不再有明顯的減少。
(2)末級(jí)過濾器的效率對(duì)潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數(shù)推薦或參考值對(duì)末級(jí)過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當(dāng)前HEPA/ULPA的效率從99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8個(gè)9以上都可選擇。其效率對(duì)氣流速度的影響除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非單向流情況下，按衡釋原理的潔凈室內(nèi)含塵濃度穩(wěn)定公式可以得出：
(a)室內(nèi)發(fā)塵量較高時(shí)，末級(jí)過濾器效率的變化對(duì)潔凈度影響甚微，因此在這種情況下，過高的過濾效率是無必要的。
(b)室內(nèi)發(fā)生塵量較低的情況下，采用低的氣流速度下，末級(jí)過濾器效率的變速器變化，對(duì)潔凈度的影響增大。
以上情況可以引用的圖1a～1c看出。
作圖有關(guān)數(shù)據(jù)：
新風(fēng)進(jìn)末過濾器前的含塵濃度1.75×106個(gè)/m3
室內(nèi)發(fā)生量:G1=350個(gè)/m3.min
G2=3500個(gè)/m3.min
G3=35000個(gè)/m3.min
G4=350000個(gè)/m3.min
新風(fēng)量對(duì)于全空氣量的比率0.03
當(dāng)前有的IC工廠其ISO5級(jí)(0.3μm)的潔凈室，采用FFU系統(tǒng),帶ULPA(99.9995%,0.12μm)，出口風(fēng)速為0.38m/s，其滿布率為25%，這樣室內(nèi)平均氣流速度為0.095m/s，在各有關(guān)推薦或參考值的下限下。此潔凈室的工藝加工在微環(huán)境內(nèi)潔凈室內(nèi)的人員亦較少，可以認(rèn)為潔凈室內(nèi)發(fā)生較低，這種情況下采用低的氣流速度可能是可取的。
據(jù)報(bào)道，目前IEST對(duì)潔凈室內(nèi)氣流速度推薦值的下限有所降低，如：
≤ISO5級(jí)：氣流速度0.2～0.5m/s;
ISO6級(jí)或5級(jí)(非單向流);換氣次數(shù)>200次/h;
ISO7級(jí)：換氣次數(shù)20～200次/h;
ISO8級(jí)：換氣次數(shù)2～20次/h;
等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)編輯
ISO/DIS14644-1潔凈室和潔凈區(qū)按空氣中懸浮粒子濃度的分級(jí)
ISO分級(jí)大于等于表中所列粒徑懸浮粒子最大允許濃度（顆/m3）
0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm
ISO1級(jí)102
ISO2級(jí)10024104
ISO3級(jí)1000237102358
ISO4級(jí)100002370102035283
ISO5級(jí)1000002370010200352083229
ISO6級(jí)1000000237000102000352008320293
ISO7級(jí)352000832002930
ISO8級(jí)352000083200029300
ISO9級(jí)352000008320000293000
《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》(1992年修訂)
潔凈級(jí)別活粒數(shù)/立方米活微生物數(shù)/立方米
≥0.5μm≥5μm
100級(jí)≤3,5000≤5
10,000級(jí)≤350,000≤2,000≤100
100,000級(jí)≤3,500,000≤20,000≤500
潔凈手術(shù)部潔凈用房等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
等級(jí)沉降（浮游）細(xì)菌最大平均濃度表面最大染菌密度空氣潔凈度級(jí)別
手術(shù)區(qū)周邊區(qū)手術(shù)區(qū)周邊區(qū)
I0.2個(gè)/30minΦ90皿（5個(gè)/m3）0.4個(gè)/30minΦ90皿（10個(gè)/m3）5個(gè)/cm2100級(jí)1000級(jí)
II0.75個(gè)/30minΦ90皿（25個(gè)/m3）1.5個(gè)/30minΦ90皿（50個(gè)/m3）5個(gè)/cm21000級(jí)10000級(jí)
III2個(gè)/30minΦ90皿（75個(gè)/m3）4個(gè)/30minΦ90皿（150個(gè)/m3）5個(gè)/cm210000級(jí)100000級(jí)
IV5個(gè)/30min，Φ90皿（175個(gè)/m3）5個(gè)/cm2300000級(jí)
美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E
等級(jí)名稱等極限值
0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5μm
國(guó)際單位英制單位/m3/ft3/m3/ft3/m3/ft3/m3/ft3/m3/ft3
M13509.9175.72.1430.90.87510.00.283
M1.51124035.02657.501063.003.531.00
M2350099.175721.43098.751002.83
M2.5101240350265075.0106030.035310.0
M3350009917570214309087.5100028.3
M3.510026500750106003003530100
M475700214003090087510000283
M4.510003530010002477
M5100000283061817.5
M5.51000035300010000247070.0
M61000000283006180175
M6.5100000353000010000024700700
M710000000283000618001750
常用單位換算
1米m=3.28英尺ft1CFM（ft3/min）=0.4719L/s
1平方米m2=10.76平方英尺ft21CFS(ft3/s)=28.32L/s
1立方米m3=35.3立方英尺ft31FPM(ft/min)=0.00508m/s
1英制加侖gallon=4.55升L1BTU/h=0.2931W
1美制加侖gallon=3.79升L1千瓦kw=860千卡/小時(shí)kcal/h
1磅lb=454克g1USTR美國(guó)冷噸=3.516kw
1馬力HP=0.746千瓦kw1巴bar=100千帕kpa
1攝氏度℃=5(華氏度F-32)/91mmH2O(毫米水柱)=9.8067帕Pa
廣東可立機(jī)電工程有限公司是由一群生于暖通、專注于暖通的工程師組建成，公司主要從事中央空調(diào)工程、凈化空調(diào)工程、中大型冷凍機(jī)房工程、多聯(lián)機(jī)工程、空調(diào)工程節(jié)能改造工程的設(shè)計(jì)與施工，尤其擅長(zhǎng)凈化工程與節(jié)能改造工程，網(wǎng)址：www.pornhoy.com。
